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lichtempfindlicher Beschichtungen für Ätzverfahren E. Roßhaupter, D. Hundt: Photolacke. In: Chemie in unserer Zeit. 5, Nr. 5, 1971, S. 147–153, doi:10.1002/ciuz...

Durchsatz (Forschungsbereich usw.) Rotationsbeschichtungs-Anlagen für den Photolack-Auftrag unter photo-chemisch unwirksamer Beleuchtung („Gelblicht“) Mask-Aligner...

hergestellt werden. Dazu werden zwei kohärente Teilstrahlen eines Lasers im Photolack eines Substrats zur Interferenz gebracht. Das Interferenzmuster erzeugt...

Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen. In der Halbleiterindustrie erlaubt die Methode...

Lewis-Säure, die unter Einwirkung von UV-Licht eine Kettenreaktion im Photolack in Gang setzt. In der Folge dieser Kettenreaktion werden Wasserstoffionen...

Formulierungen, in Lebensmitteladditiven und Duftstoffen eingesetzt. Photolacke in der Mikroelektronik enthalten häufig Milchsäureethylester als Lösungsmittel...

Bestandteile. Beispiele für solche Hochleistungspolymere sind Novolak als Photolack, Hydroxyethylstärke (HES) als Blutplasmaexpander, Celluloseacetat als...

Substratgröße jedoch stärker begrenzt. In der Halbleiterindustrie werden Photolacke ausschließlich mittels Schleuderbeschichtung auf Wafer aufgebracht. Hybridpolymere...

abgetragen, es bleiben jedoch die Stellen verchromt, unter denen kein Photolack ist. Die Kopie nach dem DIADUR-Verfahren besitzt schärfere Flanken als...

Ultraviolett erfolgt durch eine gekrümmte Photomaske. Der belichtete Photolack wird entwickelt und entfernt und im nächsten Schritt wird die freigelegte...

Masken umgesetzt. Diese Masken dienen in der Fab zur Belichtung des Photolacks auf dem Silizium in technologisch genau definierten Abbildungsschritten...

Bildung löslicher Aminkomplexe. Sollen organische Materialien wie z. B. Photolacke geätzt bzw. verascht werden, verwendet man Sauerstoff. Ätzprodukte sind...

promovierte unter Oskar Nuyken mit einer Arbeit auf dem Gebiet „Wasserlösliche Photolacke auf der Basis von Azosulfonaten“. Nach ihrer Habilitation an der Technischen...