HTCC

High Temperature Cofired Ceramics (dt. Hochtemperatur-Mehrlagenkeramik) wird bei 1600–1800 °C gesintert, ist also mit der Dickschichttechnik nicht direkt kompatibel.

Häufig eingesetzte Leiterbahnmaterialien sind Wolfram und Molybdän mit gegenüber Kupfer und Aluminium zwei- bis dreimal geringerer elektrischer Leitfähigkeit. Galvanisches Vernickeln und Vergolden ist nach dem Sintern notwendig, um löt- und bondfähige Schichten zu erhalten.

Vorteile:

  • hohe Ebenenanzahl (bis 70)
  • hohe Integrationsrate, Leitungen und Vias um 100 µm möglich
  • gute Wärmeleitung.

Nachteile:

  • hohe Sintertemperatur, niedrige Leitfähigkeit der Metallisierung
  • Probleme bei Hochfrequenz-Anwendungen.

Siehe auch

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